データがありません
通知
通知はありません
露光装置 (ろこうそうち) — lithography
露光装置
lithography
半導体露光装置 はんどうたいろこうそうち
exposure system
装置 そうち
equipment; device; installation; apparatus
装置名 そうちめい
device name
安全装置 あんぜんそうち
safety device
リンク装置 リンクそうち
linkage