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ピラニ真空計(ピラニしんくうけい)は電気抵抗型の真空計である。 細い白金線に電流を流しておき、気体分子の衝突によって奪われる熱を白金線の抵抗値の変化によるブリッジ回路に流れる電流値として測定すれば、間接的に気体の圧力を測定したことになる。回路の方式としては圧力が変化したときに白金線の温度が一定にな
マクラウド真空計(マクラウドしんくうけい、英語:McLeod gauge)は、高真空の圧力を計測するための水銀液柱圧力計である。1874年にハーバート・マクラウドによって発明された。 水銀の入っていない位牌型のマノメーターを考える。このマノメーターのU字管の底の部分に水銀を出し入れするための出入り
スピニングロータ真空計(スピニングロータしんくうけい、英語:spinning rotor gauge)は、真空中で運動する物体と気体分子間に働く粘性抵抗現象を利用した真空の圧力を測るための真空計の一種である。 ドイツでは真空計の中で標準圧力計として使用されており、日本でも現在具体的に検討が進められている。
電離真空計(でんりしんくうけい)は、気体をイオン化させ、流れる電流を測定することによって圧力を求める真空計の一種である。三極真空管にきわめて似た構造をもつが、動作原理はまったく違うものである。 電子が飛び出すフィラメント、グリッド、イオンを集めるコレクタより構成される。