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露光装置 (ろこうそうち) — 光刻
露光装置
光刻
装置 そうち
设备,仪器,装置
装置名 そうちめい
设备名称
安全装置 あんぜんそうち
安全装置
リンク装置 リンクそうち
连锁
表示装置 ひょうじそうち
显示设备,图形设备